华特气体合作研发高纯三氟化氯

摘要：2021年3月25日，华特气体与红华实业签订高纯三氟化氯研发合作协议。2021年3月25日，广东华特气体股份有限公司（华特气体）与中国核工业集团有限公司（中核集团）全资孙公司四川红华实业有限公司（红华实业）正式签订了高纯三氟化氯生产技术合作开发协议。对于此次合作，华特气体表示，红华实业技术研发能力强、检测手段齐全，双方共同研发高纯三氟化氯相关核心技术，能够在这一领域打破国外垄断，快速实现进口替代。据悉，高纯三氟化氯主要用于芯片制程中的蚀刻、硅片和腔体清洗，由于其高氟碳比和较强的氟离子自由...